YX-2D6型X射線晶體定向儀
雙工作臺設計,工作臺用於晶棒軸向的角度量測,量測軸向可依客戶需求而定。
描述
儀器配置
X射線晶體定向儀由機台、管套及各種機械附件組成的機械部份;由穩壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數器、風冷電機、X射線管及各種指示儀錶組成的電氣部份構成。
配電規格
- 機台耗電量:0.4kW
- 工作電流:X光管的工作電流0~5mA;設備整體~2A
- 電壓:單相,220V/60Hz電源電壓波動不大於±10%
- 無配水及空壓需求
使用條件
- 海拔不超過1000米
- 環境溫度+5°~+30℃
- 相對濕度不得大於65%(如超過此溫度必須採取相應措施)
- 電源應備有單相三芯插座,接線應符合國家標準,即三芯左零、右火、上腳為地線
- 有良好的接地裝置接地電阻不應大於4Ω
技術指標
資料差值、導出功能:工作臺為雙側,一側用於測量Φ2~Φ6寸晶棒及晶片;另一側用於晶片參考邊的測量。測量角度為0.001°。角度顯示為兩個視窗:一個視窗為即時測量角度;另一個視窗為實測角度值與標準角度之間的差值顯示。例如:標準角度為18.84°,而實測角度為19.24°,差值顯示為0.4°(就是不用人工計算就能知道實測角度與標準角度相差多少,消除了人工計算可能出現的誤差)。導出功能是能將再次測量的結果輸入電腦中(自動導入),以備以後查閱時用(以上功能可依客戶需求訂製)。
- X射線發生器部分
X射線管:銅靶;風扇冷卻;陽極接地
最大管電壓:33kVp,全壓合閘
管電流:0~5mA(連續可調)
輸入電源:單相交流220V,60Hz;整機總耗電功率不大於0.4kW
靈敏度不劣於±30″ - 測角儀部分
蝸輪付運動誤差不大於30″
角度最小讀數10″
計數器旋轉角度:-5°~+120°
樣品旋轉角度:-5°~+60°
狹縫:其發散度為4'、5'、6'三種;插入式
數位顯示:度、分、秒表示,讀數為10″;帶有資料導出和差值顯示 - 記錄部分
計數管:GJ5101蓋革計數管工作電壓500~1100V
時間常數:分1、2、3檔 - 外型尺寸:1140(長)×650(寬)×1250(高)mm
- 可測晶棒:Φ2~Φ6英寸
- 重量:240kg
精度
以客戶提供的標準片對設備檢測,確保儀器精度為±30″,最小讀數為10″。



