YX-2D6型X射線晶體定向儀

雙工作臺設計,工作臺用於晶棒軸向的角度量測,量測軸向可依客戶需求而定。
描述

儀器配置

X射線晶體定向儀由機台、管套及各種機械附件組成的機械部份;由穩壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數器、風冷電機、X射線管及各種指示儀錶組成的電氣部份構成。

配電規格

  • 機台耗電量:0.4kW
  • 工作電流:X光管的工作電流0~5mA;設備整體~2A
  • 電壓:單相,220V/60Hz電源電壓波動不大於±10%
  • 無配水及空壓需求

使用條件

  • 海拔不超過1000米
  • 環境溫度+5°~+30℃
  • 相對濕度不得大於65%(如超過此溫度必須採取相應措施)
  • 電源應備有單相三芯插座,接線應符合國家標準,即三芯左零、右火、上腳為地線
  • 有良好的接地裝置接地電阻不應大於4Ω

技術指標

資料差值、導出功能:工作臺為雙側,一側用於測量Φ2~Φ6寸晶棒及晶片;另一側用於晶片參考邊的測量。測量角度為0.001°。角度顯示為兩個視窗:一個視窗為即時測量角度;另一個視窗為實測角度值與標準角度之間的差值顯示。例如:標準角度為18.84°,而實測角度為19.24°,差值顯示為0.4°(就是不用人工計算就能知道實測角度與標準角度相差多少,消除了人工計算可能出現的誤差)。導出功能是能將再次測量的結果輸入電腦中(自動導入),以備以後查閱時用(以上功能可依客戶需求訂製)。

  • X射線發生器部分
    X射線管:銅靶;風扇冷卻;陽極接地
    最大管電壓:33kVp,全壓合閘
    管電流:0~5mA(連續可調)
    輸入電源:單相交流220V,60Hz;整機總耗電功率不大於0.4kW
    靈敏度不劣於±30″
  • 測角儀部分
    蝸輪付運動誤差不大於30″
    角度最小讀數10″
    計數器旋轉角度:-5°~+120°
    樣品旋轉角度:-5°~+60°
    狹縫:其發散度為4'、5'、6'三種;插入式
    數位顯示:度、分、秒表示,讀數為10″;帶有資料導出和差值顯示
  • 記錄部分
    計數管:GJ5101蓋革計數管工作電壓500~1100V
    時間常數:分1、2、3檔
  • 外型尺寸:1140(長)×650(寬)×1250(高)mm
  • 可測晶棒:Φ2~Φ6英寸
  • 重量:240kg

精度

以客戶提供的標準片對設備檢測,確保儀器精度為±30″,最小讀數為10″。

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